Kokios yra silicio plokštelių orientacijos?

Mar 14, 2024

Puslaidininkių gamyboje silicio plokštelėse dažnai naudojama 100 kristalų orientacija, nes 100 kristalų orientacija turi šiuos privalumus ir pritaikomumą:
1. Pagrindinė kristalų struktūra: Silicio kristalinė struktūra yra į veidą orientuota kubinė (FCC), kurioje (100) kristalų orientacija yra tankiausiai supakuota kristalų plokštuma. Tai reiškia, kad silicio plokštelės su (100) kristalų orientacija turi didesnį plokštumą gardelės struktūroje ir gardelės parametrų nuoseklumą, todėl jas labiau tinka naudoti kaip puslaidininkinių įtaisų substrato medžiagas.
2. Gamybos proceso pranašumai: (100) Silicio plokštelės su kristalų orientacija turi pranašumų gamybos procesuose. Dėl didelio paviršiaus lygumo galima lengviau atlikti ėsdinimo, nusodinimo ir kitus apdorojimo procesus. Be to, (100) orientuotas silicio plokšteles taip pat lengviau fiziškai ir chemiškai apdoroti, todėl jos tinka integriniams grandynams ir kitiems puslaidininkiniams įtaisams ruošti.
3. Kristalų orientacijos nuoseklumas: naudojant silicio plokšteles su (100) kristalų orientacija, plokštelės gali būti nuoseklesnės ir pakartojamos gamybos proceso metu. Tai labai svarbu norint užtikrinti įrenginio veikimo nuoseklumą ir gamybos proceso valdymą.
4. Pagrindo patogumas: (100) orientuota silicio plokštelė gerai dera ir yra suderinama kaip substrato medžiaga. Jis gali būti derinamas su daugeliu dažniausiai naudojamų puslaidininkinių medžiagų ir sukrautų konstrukcijų, todėl labiau tinka įvairių tipų puslaidininkiniams įtaisams ruošti.

Tau taip pat gali patikti