Termiškai oksidacijai paruoštos silicio plokštelės

Termiškai oksidacijai paruoštos silicio plokštelės

Šios silicio plokštelės yra kruopščiaiparuošti palaikyti oksidacijos procesus, tarnaujantis kaip didelio{0}}grynumo šablonas svarbiems dielektriniams sluoksniams formuoti. Sukurtas itin -švarus, be dalelių-paviršius, šie substratai yra sukurti taip, kad klestėtų esant dideliam krosnies oksidacijos šiluminiam biudžetui. Silicio gardelės atominis{5}lygumas yra pagrindinė sąlyga norint sukurti didelio našumo-vartų izoliatorius ir izoliacinius oksidus šiuolaikinėse analoginėse ir galios IC architektūrose.

Pagrindiniai techniniai pranašumai:

Vienodas oksido sluoksnio susidarymas:Thepastovi paviršiaus kokybė užtikrina vienodą oksido sluoksnio susidarymą, sumažinant oksido storio svyravimus per visą plokštelės skersmenį. Išlaikydami griežtai kontroliuojamą mikro-šiurkštumą (Ra) ir sub-mikronų bendrą storio pokytį (TTV), mūsų plokštelės palengvina nuspėjamą oksidacijos greitį. Šis geometrinis tikslumas yra būtinas norint stabilizuoti slenkstinę įtampą ir padidinti plonasluoksnių tranzistorių patikimumą.

Minimalus sąsajos būsenos tankis:Šios plokštelės, sukurtos taip, kad būtų pagamintos labai{0}}tikslumo SiO sąsajos, yra valomos pagal specialius protokolus, kad pašalintų metalinius teršalus ir organines liekanas. Tai lemia žemąSąsajos būsenos tankis, kuris tiesiogiai sumažina nešiklio gaudymą ir pagerina galutinio puslaidininkinio įtaiso perjungimo greitį ir ilgalaikį stabilumą.

Termomechaninis atsparumas:Šios plokštelės, specialiai optimizuotos ilgo{0}}ciklo krosnies procesams, pasižymi puikiu atsparumu šiluminiam įtempimui. Medžiagaišlaiko vientisumą aukštoje{0}}temperatūroje vykstančių procesų metu, užkertant kelią grotelių slydimui ir deformacijai pereinant nuo aplinkos temperatūros prie oksidacijos temperatūros. Šis struktūrinis stabilumas užtikrina, kad plokštelė išliks suderinama su vėlesniais tikslios litografijos ir ėsdinimo etapais.

Populiarus Žymos: terminei oksidacijai paruoštos silicio plokštelės, Kinijos termiškai oksidacijai paruoštų silicio plokštelių gamintojai, tiekėjai, gamykla